Jenseits der Lithographie: Chinesischer Chip-Toolhersteller erzielt Durchbruch bei Wafer-Polierung
Chinesische Chip-Tool-Entwickler erzielen weiterhin technische Fortschritte, mit dem jüngsten Durchbruch in der Wafer-Polierung – einem kritischen Fertigungsschritt, der Siliziumscheiben flacht und glättet – auch wenn die Branche weiterhin stark von ausländischen Lieferanten für komplexere Fertigungsverfahren abhängig bleibt
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