Physics-informed generative AI für die Halbleiterherstellung: Erzwingung harter physikalischer Einschränkungen in generativen Modellen durch Konstruktion

arXiv:2606.11247v1 Ankündigungstyp: neu Abstract: Generative Modelle werden zunehmend verwendet, um Designs, Daten und Kontrollmaßnahmen für physikalische Systeme vorzuschlagen, doch viele solche Systeme werden durch harte physikalische Einschränkungen und nicht nur durch wahrgenommene Plausibilität bestimmt. Die Halbleiterherstellung bietet ein